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①比Adixen標(biāo)準(zhǔn)系列泵運(yùn)行更安靜 ②低工作溫度減少油蒸汽回流，同時(shí)提高極限真空

管理解決方案分子污染（計(jì)量和過(guò)程） 該中*開發(fā)的真空泄漏檢測(cè)和管理解決方案，分子污染的新概念。

壓力安全閥 固有的故障安全保護(hù)系統(tǒng)確保無(wú)剩余壓力 動(dòng)態(tài)自監(jiān)測(cè)

拆卸簡(jiǎn)便的電磁線圈系統(tǒng) 不含LABS 帶制動(dòng)裝置的標(biāo)準(zhǔn)手動(dòng)應(yīng)急控制

自由交叉式切換，即便在供氣面積很小時(shí)也能保證切換功能 即便在電源故障時(shí)也能提供安全保障 (單穩(wěn)態(tài)設(shè)計(jì)) 帶制動(dòng)裝置的手動(dòng)應(yīng)急控制

電子開關(guān)由釹磁鐵觸發(fā)，釹磁鐵是堅(jiān)固的磁鐵合金。這種永磁體被封裝在對(duì)大多數(shù)物質(zhì)具有化學(xué)抗性的316不銹鋼外殼中。